Die Halbleiterindustrie benötigt Komponenten, die unter immer anspruchsvolleren Bedingungen präzise, sauber und langfristig stabil arbeiten können. Das JINPAT LPT Hohlwellen-Schleifring wurde speziell für diese Herausforderungen entwickelt und bietet zuverlässige Drehübertragung in Hochtemperatur- und Hochvakuumumgebungen, die üblicherweise in modernen Halbleiterverarbeitungsanlagen zu finden sind. Mit einem Design, das Haltbarkeit, Kontaminationskontrolle und elektrische Leistung in den Vordergrund stellt, unterstützt die LPT-Serie globale Halbleiterhersteller bei der Aufrechterhaltung einer gleichbleibenden Produktionsqualität.
Der Schleifring’s Edelstahlgehäuse, gefertigt aus SUS304, bietet eine hohe Beständigkeit gegen thermische Belastungen und mechanische Verformungen. Im Inneren des Geräts gewährleisten Hochtemperatur-Legierungs-Leitringe und Edelmetall-Verbundkontakte eine stabile Signal- und Leistungsübertragung, selbst bei längerem Betrieb über 200°C. Die interne Struktur ist auf ein effizientes Wärmemanagement ausgelegt, wodurch die Ausdehnung minimiert und das geringe elektrische Rauschen während des gesamten Produktionszyklus aufrechterhalten wird.
Vakuumverträglichkeit ist ein weiteres entscheidendes Merkmal der LPT-Serie. Halbleiterprozesse basieren auf streng kontrollierten Vakuumumgebungen, in denen die Kontamination auf nahezu Null reduziert werden muss. Um diesen Standards gerecht zu werden, verfügt der Schleifring über ein trockenes, schmierfreies Design, wodurch die Freisetzung von Öldämpfen ausgeschlossen wird. Sein mehrstufiges Dichtungssystem und die emissionsarmen Materialien gewährleisten eine ausgezeichnete Luftdichtheit. Darüber hinaus verhindert ein kupferionenfreies Design Metallkontamination—ein entscheidender Vorteil bei der Waferherstellung und anderen empfindlichen Prozessen.
Der LPT Hohlwellen-Schleifring wird bereits erfolgreich in einer Vielzahl von Halbleiterfertigungsanlagen eingesetzt. Seine Kombination aus thermischer Beständigkeit, mechanischer Stabilität und Vakuumreinheit hat ihm eine hohe Anerkennung bei Geräteherstellern eingebracht, die nach zuverlässigen, langlebigen Übertragungslösungen suchen. Ob in Wafer-Handhabungssysteme, Inspektionsmodule oder Vakuum-Drehvorrichtungen integriert, die LPT-Serie trägt zu einer verbesserten Betriebsstabilität und Prozesszuverlässigkeit bei.
Da sich die Halbleitertechnologien ständig weiterentwickeln, werden die Anforderungen an die Geräte nur noch strenger. JINPAT engagiert sich weiterhin für die Unterstützung globaler Hersteller durch die Entwicklung von Hochleistungs-Schleifringlösungen, die auf fortschrittlichen Materialien, Präzisionstechnik und strengen Kontaminationskontrollstandards basieren. Die LPT-Serie steht für dieses Engagement und bietet eine robuste und zuverlässige Drehschnittstelle, die darauf ausgelegt ist, die sich entwickelnden Anforderungen der Halbleiterindustrie weltweit zu erfüllen.